JJF 1967-2022 激光衍射法反射光栅校准规范

国家标准 强制性 现行

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  • 中国标准分类号:本规范适用于平均间距为(140~2000)nm、能观测到衍射现象的一维或二维反射光栅的校准。
    国际标准分类号:
  • 提出单位:殷聪(中国计量科学研究院)、石春英(中国计量科学研究院)、王建波(中国计量科学研究院)、程鑫彬(同济大学)、邓晓(同济大学)
    主管部门:

起草单位

起草人

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