DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法

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  • 中国标准分类号：G10
    国际标准分类号：71.040.40
  • 提出单位：云南省质量技术监督局
    主管部门：云南省质量技术监督局

起草单位

昆明冶研新材料股份有限公司

起草人

赵建为、张云晖、于艳敏、金波、亢若谷、马启坤、杨晓静、田琦、李晓华、韩小月

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