YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

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  • 中国标准分类号：H17
    国际标准分类号：77.040.30
  • 提出单位：
    主管部门：全国有色金属标准化技术委员会

起草单位

中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司

起草人

刘新军、刘英杰、郑华荣等

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