SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式 PECVD 设备

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标准详情

  • 中国标准分类号：L95
    国际标准分类号：31.55
  • 提出单位：全国半导体设备利材料标准化技术委员会
    主管部门：工业和信息化部

起草单位

湖南红太阳光电科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子技术标准化研究院

起草人

许烁烁、范迎新、吴得铁、、龙会跃、彭宜昌、陈特超、蔡先武、宋秀云、童芳、冯亚彬

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