SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

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  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：L95
    国际标准分类号：31.550
  • 提出单位：
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

起草人

付金生、冯亚彬、程朝阳 等

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