YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

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  • 中国标准分类号：H17
    国际标准分类号：77.040
  • 提出单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
    主管部门：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

起草单位

洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、四川永祥多晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司

起草人

严大洲、万烨、赵雄、曹俊英、徐家扬、刘凤华、刘允许、邱艳梅、刘国霞、魏东亮、王彬、甘居富、李寿琴、于生海

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