GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

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  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：L55
    国际标准分类号：31.200
  • 提出单位：
    主管部门：全国微机电技术标准化技术委员会

起草单位

西北工业大学、中机生产力促进中心

起草人

苑伟政、谢建兵、马志波、常洪龙、李海斌、乔大勇、刘伟

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