GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅

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  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：G86
    国际标准分类号：71.100.20
  • 提出单位：
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

湖北晶星科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资（上海）有限公司、达州市质量技术监督检验测试中心、湖北省标准化与质量研究院、唐山三孚电子材料有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、随州市信息与标准化所、西南化工研究设计院有限公司

起草人

徐德、张国光、杨剑、赵雄、戴帅、张竞、陈艳珊、杨利、曹作斌、曲庆、黄辉、谭鹏程、徐龙、赵帅德、黄娣、刘畅、楚东旭、王春英、黄国菲、廖恒易、于青玉、方华、陈鹰、李春华、邓远方、周鹏云、唐霞梅

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