SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法

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  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：H82
    国际标准分类号：29.045
  • 提出单位：
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

起草人

何友琴、马农农、何秀坤 等

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