SJ/T 11707-2018 硅通孔几何测量术语

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  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：L30
    国际标准分类号：31.020
  • 提出单位：
    主管部门：全国半导体器件标准化技术委员会集成电路分技术委员会

起草单位

中国电子科技集团公司第五十五研究所、天水华天科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十八研究所

起草人

侯芳、郁元卫、吴昊 等

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