标准详情
- 中国标准分类号:H66
- 国际标准分类号:77.120.99
- 提出单位:全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
- 主管部门:全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
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