T/CASAS 004.2-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱

团体标准强制性现行

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标准状态

发布于：2018-11-20
实施于：2018-11-20
废止

标准详情

中国标准分类号：
国际标准分类号：31.080.01
提出单位：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
主管部门：

起草单位

东莞市天域半导体科技有限公司、全球能源互联网研究院有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所、中国科学院微电子研究所、株洲中车时代电气股份有限公司、山东天岳晶体材料有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、山东大学、台州市一能科技有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、深圳第三代半导体研究院。