SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液

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  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：L90
    国际标准分类号：31.030
  • 提出单位：
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

戈士勇、何珂、王周霞 等

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