YS/T 1600-2023 碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

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  • 中国标准分类号：H17
    国际标准分类号：77.040.30
  • 提出单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
    主管部门：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

起草单位

国合通用测试评价认证股份公司、国标（北京）检验认证有限公司、南京国盛电子有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、厦门万明电子有限公司、广东先导稀材股份有限公司、河北同光晶体有限公司、北京清质分析技术有限公司、贵研检测科技（云南）有限公司

起草人

刘红、刘鹏宇、胡芳菲、杨复光、刘丽媛、赵景鑫、孙道儒、骆红、佘宗静、黄景明、朱赞芳、谭秀珍、杨昆、李铭、马媛

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