SJ/T 11775-2021 半导体材料多线切割机

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  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：L95
    国际标准分类号：31.550
  • 提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员

起草单位

唐山晶玉科技有限公司、杨凌美畅新材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

杨福占、齐乃生、刘永柱、贾海波、曲东升、阎立群、王永、冯亚彬

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