GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

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标准详情

  • 中国标准分类号：H80
    国际标准分类号：29.045
  • 提出单位：
    主管部门：国家标准委

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人

何友琴、马农农、丁丽

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