SJ/T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范

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  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：L90
    国际标准分类号：31.030
  • 提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员

起草单位

工业和信息化部电子工业标准化研究院、深圳清溢光电股份有限公司

起草人

王香、曹可慰、万承华、管琪、张莹、冯亚斌、张理、付雪涛

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