T/SZZXH 5-2025 半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门技术规范

团体标准 强制性 现行

标准状态

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  2. 实施于:
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号:J16
    国际标准分类号:23.060.99
  • 提出单位:
    主管部门:

起草单位

科讯工业制造(深圳)有限公司、东莞市富强高分子材料有限公司、深圳市恩欣龙特种材料股份有限公司、深圳市维普利精密制造有限公司、金华永和氟化工有限公司、宁波联大塑料管件有限公司、深圳市战略性新兴产业发展促进会

起草人

张生洲、张青松、俞诗琳、方锐玲、唐耀卫、刘福华、徐潇宇、徐路、孙向军、姚潺、童森荣、陈思思、陈小丽

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