SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范

行业标准 推荐性 现行

标准状态

  1. 发布于:
  2. 实施于:
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号:L97
    国际标准分类号:27.010
  • 代替标准:SJ/T 11451-2013
  • 提出单位:中国电子技术标准化研究院
    主管部门:中国电子技术标准化研究院

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源(中国)有限公司、北京赛西认证有限责任公司

起草人

李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳

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