T/CIET 1279-2025 碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）

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  • 中国标准分类号：
    国际标准分类号：29.045
  • 提出单位：
    主管部门：

起草单位

眉山博雅新材料股份有限公司、苏州清橙半导体科技有限公司、山西烁科晶体有限公司、江苏超芯星半导体有限公司、通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、途邦认证有限公司。

起草人

王宇、陈鹏飞、侯晓蕊、袁振洲、袁丽、雷沛、顾鹏、刘西洋、陈颖超、刘岩、吴永利、汪贤峰、冀云、徐敬铭、包瑾、祝焕新。

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