SJ/T 11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量

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标准详情

  • 中国标准分类号：L90
    国际标准分类号：31.030
  • 提出单位：
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

苏州晶瑞化学有限公司、同济大学、工业和信息化部电子工业标准化研究院等

起草人

刘兵、钱森林、王洪华 等

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