GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

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标准详情

  • 中国标准分类号：L90
    国际标准分类号：31.030
  • 提出单位：
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、江苏中腾石英材料科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、东海县产品质量监督检验所、中材高新江苏硅材料有限公司

起草人

薄雷明、程尚栩、王祥、许振午、冯亚彬、栾振祥、张存君、李建德、管琪

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