GB/T 43748-2024 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

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标准详情

  • 中国标准分类号：N33
    国际标准分类号：71.040.40
  • 提出单位：全国微束分析标准化技术委员会
    主管部门：国家标准委

起草单位

广东省科学院工业分析检测中心、胜科纳米（苏州）股份有限公司、南方科技大学

起草人

伍超群、于洪宇、周鹏、邱杨、程鑫、乔明胜、陈文龙、黄晋华、汪青

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