SJ/T 11499-2015 碳化硅单晶电学性能的测试方法

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  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：H83
    国际标准分类号：29.045
  • 提出单位：
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

丁丽、郑庆瑜、蔺娴 等

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