SJ/T 11860-2022 电镀溶液成分分析方法

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标准详情

  • 中国标准分类号：L90
    国际标准分类号：31.030
  • 提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

中国电子技术标准化研究所、上海新阳半导体材料股份有限公司

起草人

曹可慰、吴怡然、李小娟、管琪、付雪涛、王振荣

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