JJF（沪）59-2018 微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范

国家标准 强制性 现行
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起草单位

上海市计量测试技术研究院、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、中国计量科学研究院、上海交通大学

起草人

蔡潇雨(上海市计量测试技术研究院)、朱振宇(中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所)、张波(上海市计量测试技术研究院)、施玉书(中国计量科学研究院)、陈欣(上海交通大学)

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