JJF（鄂）111-2024 晶圆测试系统校准规范

国家标准 强制性 现行
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    国际标准分类号：
  • 提出单位：
    主管部门：

起草单位

中国船舶集团有限公司第七〇九研究所、武汉大学

起草人

薄涛（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、张骋（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、刘倩（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、王珩（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、梁康（武汉大学）

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