YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用

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  • 中国标准分类号：H17
    国际标准分类号：77.040.30
  • 代替标准：YS/T 987-2014
  • 提出单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
    主管部门：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

起草单位

亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海省亚硅硅材料工程技术有限公司、青海芯测科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司

起草人

魏东亮、田润朝、蔡延国、曹岩德、陈英、安军林、陈英春、于生海、申梅桂、李升业、宗冰、尹东林、肖建忠、刘翠、徐家扬

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