GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范

国家标准 推荐性 现行
收藏 报错

标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：L55
    国际标准分类号：31.200
  • 提出单位：
    主管部门：全国微机电技术标准化技术委员会

起草单位

北京大学、大连理工大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司、中机生产力促进中心、东南大学

起草人

张大成、王玮、黄贤、何军、周再发、刘军山、李海斌、杨芳、刘冲、刘伟、李婷、姜博岩

标准预览（共 24 页）

5页 预览结束，下载 24页 完整版

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：
  • 文档详情：3.25MB 共 24 页 PDF

标准搜索

相关推荐