YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

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  • 中国标准分类号：H17
    国际标准分类号：77.040
  • 提出单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
    主管部门：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江苏鑫华半导体材料科技有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、雅波拓（福建）新材料有限公司

起草人

王春明、王彬、刘晓霞、沈峰、赵娟龙、曹岩德、银波、邱艳梅、楚东旭、李小晴、王桃霞、付萍

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