SJ/T 11517-2015 电子工业用气体一氧化碳

行业标准 推荐性 现行

标准状态

  1. 发布于:
  2. 实施于:
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号:G86
    国际标准分类号:71.100.20
  • 提出单位:
    主管部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、广东华南特种气体研究所有限公司等

起草人

万华、王新鹏、吴平修 等

标准预览(共 12 页)

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  • 标准质量:
  • 文档详情:3.76MB 共 12 页 PDF

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