标准详情
- 中国标准分类号：J09
- 国际标准分类号：29.020
- 提出单位：
- 主管部门：全国工业机械电气系统标准化技术委员会
GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
标准状态
- 发布于：2017-10-14
- 实施于：2018-05-01
- 废止
起草单位
中微半导体设备(上海)有限公司、上海微电子装备有限公司、沈阳拓荆科技有限公司、中晟光电设备（上海）有限公司、盛美半导体设备（上海）有限公司、北京机床研究所、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、北京七星华创电子股份有限公司、理想太阳能（上海）有限公司
起草人
李天笑、黄祖广、郭和平、沈红、孙岩、刘忠武、薛瑞娟、王海涛、田保峡、孙东曦、潘菊凤、张志强、李补忠
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- 标准质量：
- 文档详情：7.6MB 共 100 页 PDF
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