GB/T 43493.2-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法

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  • 中国标准分类号：L90
    国际标准分类号：31.080.99
  • 提出单位：国家标准化管理委员会
    主管部门：国家标准委

起草单位

河北半导体研究所（中国电子科技集团公司第十三研究所）、中国电子科技集团公司第四十六研究所、山东天岳先进科技股份有限公司、中国科学院半导体研究所、山西烁科晶体有限公司、深圳市星汉激光科技股份有限公司、深圳市恒运昌真空技术有限公司、深圳超盈智能科技有限公司、厦门柯尔自动化设备有限公司、之江实验室、浙江大学、河北普兴电子科技股份有限公司、中电化合物半导体有限公司、广东天域半导体股份有限公司、常州银河世纪微电子股份有限公司、深圳市鹰眼在线电子科技有限公司、常州臻晶半导体有限公司、厦门普诚科技有限公司

起草人

芦伟立、房玉龙、李丽霞、杨青、张建锋、李振廷、张永强、钮应喜、丁雄杰、刘薇、乐卫平、周翔、郑隆结、薛联金、李佳、张冉冉、殷源、刘立娜、徐晨、宋生、金向军、毛开礼、周少丰、庄建军、夏俊杰、陆敏

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