SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

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  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：L95
    国际标准分类号：31.550
  • 提出单位：
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等

起草人

胡松立、郑教增、冯亚彬 等

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