GB/T 46191-2025 电子级五（二甲氨基）钽

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  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：L90
    国际标准分类号：31.030
  • 提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    主管部门：国家标准委

起草单位

南大光电半导体材料有限公司、苏州实验室、苏州源展材料科技有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、合肥安德科铭半导体科技有限公司、南大光电（淄博）有限公司、中国电子技术标准化研究院、江苏南大光电材料股份有限公司、长江存储科技有限责任公司、全椒南大光电材料有限公司、宁波南大光电材料有限公司、南大光电（乌兰察布）有限公司、安徽博泰电子材料有限公司

起草人

陈德义、曹可慰、杨敏、史泽远、孙鹏、张婷、张健、罗文娇、郭威、王伟、张学奇、何晓晨、王小亮、孙丽丽、陆平、王博文、刘能巧、孟庆典、张鹏、顾洋洋、茅炳荣、徐文涛、孙明璐、陈鹏宇、赵俊莎、吴怡然、李雪、高加新、魏良杰、毛国玉、张宝帅、刘立伟、曹益宁、童祎、彭元兵、娄夏冰、孙建、高朋

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