SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求

行业标准 推荐性 现行

标准状态

  1. 发布于:
  2. 实施于:
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号:L95
    国际标准分类号:31.550
  • 提出单位:
    主管部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司等

起草人

冯亚彬、程朝阳、钟华 等

标准预览(共 17 页)

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  • 标准质量:
  • 文档详情:8.81MB 共 17 页 PDF

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