GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法

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  • 中国标准分类号：H21
    国际标准分类号：77.040.01
  • 提出单位：
    主管部门：国家标准化管理委员会

起草单位

洛阳单晶硅厂

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