SJ/T 11853-2022 正压悬浮区熔单晶硅炉

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  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：L97
    国际标准分类号：31.220
  • 提出单位：工业和信息化部
    主管部门：工业和信息化部

起草单位

浙江晶盛机电股份有限公司、浙江晶鸿精密机械制造有限公司、浙江求是半导体设备有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、中国电子技术标准化研究院

起草人

曹建伟、朱亮、傅林坚、张俊、郑丽霞、叶钢飞、刘嘉、王遵义、孙健、曹可慰、吴怡然、李其聪

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