GB/T 4058-2009 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

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标准详情

  • 中国标准分类号：H80
    国际标准分类号：29.045
  • 代替标准：GB/T 4058-1995
  • 提出单位：
    主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

何兰英、王炎、张辉坚、刘阳

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