YS/T 1434-2021 六氯乙硅烷组分含量的测定气相色谱法

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  • 中国标准分类号：H17
    国际标准分类号：77.04
  • 提出单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
    主管部门：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

起草单位

洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、内蒙古通威高纯晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、雅波拓（福建）新材料有限公司

起草人

万烨、严大洲、赵雄、楚东旭、刘凤华、徐家扬、曹俊英、田润朝、于生海、安军林、侯海波、邓远红、付萍

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