T/BSPT 002-2018 微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法

团体标准 强制性 现行
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  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：A28
    国际标准分类号：19.020
  • 团体名称：北京粉体技术协会

起草单位

中国科学院物理研究所

起草人

顾长志、刘哲、李无瑕、杨海方、李俊杰

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