SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

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标准详情

  • 中国标准分类号：L01
    国际标准分类号：31.550
  • 代替标准：SJ/T 31083-1994
  • 提出单位：
    主管部门：中国电子技术标准化研究院

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所

起草人

彭海涛、杨红伟、家秀云 等

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