T/IAWBS 002-2017 碳化硅外延片表面缺陷测试方法

团体标准 强制性 现行
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  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：
    国际标准分类号：29.045
  • 提出单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
    主管部门：

起草单位

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、全球能源互联网研究院有限公司、瀚天天成电子科技（厦门）有限公司、东莞市天域半导体科技有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所、中国电子科技集团公司第二研究所、西安电子科技大学、中国科学院半导体研究所

起草人

钮应喜、杨霏、温家良、吴军民、潘艳、陈志霞、刘丹、冯淦、张新河、田亮、田红林、吴昊、李玲、李永平、张文婷、李嘉琳、焦倩倩、李赟、王英民、贾仁需、刘兴昉、陆敏、彭同华、刘振洲

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