SJ/T 11183-2022 匀胶设备通用规范

行业标准 推荐性 现行

标准状态

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  2. 实施于:
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号:L95
    国际标准分类号:31.550
  • 代替标准:SJ/T 11183—1998
  • 提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员
    主管部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员

起草单位

沈阳芯源微电子设备有限公司、中国电子技术标准化研究院

起草人

宗润福、徐春旭、刘正伟、冯亚彬

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