GB/T 43725-2024 直写成像式曝光设备

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  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：L97
    国际标准分类号：31.260
  • 提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    主管部门：国家标准委

起草单位

合肥芯碁微电子装备股份有限公司、安徽省工业和信息化研究院、四创电子股份有限公司、合肥矽迈微电子科技有限公司、深圳拜波赫技术有限公司、广州兴森快捷电路科技有限公司、深南电路股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、深圳市克洛诺斯科技有限公司

起草人

何少锋、陈新、沈桂珍、朱颖、曲鲁杰、许静平、陆培良、吴怡然、李香滨、严孝年、李照辉、吴新民、邱醒亚、乔书晓、陈黎阳、方林、陈东、崔良端、曹可慰、赵俊莎、鲁男、李娜

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