YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

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  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 中国标准分类号：H68
    国际标准分类号：77.120.99
  • 提出单位：
    主管部门：全国有色金属标准化中心

起草单位

中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司

起草人

高英、武斌

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